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专利状态
石墨舟
有效
专利申请进度
申请
2023-06-29
授权
2024-01-26
预估到期
2033-06-29
专利基础信息
申请号 CN202321678766.6 申请日 2023-06-29
授权公布号 CN220393901U 授权公告日 2024-01-26
分类号 C23C16/458;C23C16/455;C23C16/50;H01L31/18
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 天合光能股份有限公司
申请人地址 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号
专利法律状态
  • 2024-01-26
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本申请提供一种石墨舟,包括多个石墨片、垫块、舟脚和连接件,各个石墨片平行设置,连接件将各个石墨片相连,垫块与连接件相连,用于间隔各个石墨片,舟脚与靠近石墨舟底部的垫块相连,用于支撑石墨舟;舟脚和至少部分垫块设有沿平行石墨片长度的方向贯穿的通风孔。本申请在舟脚和至少部分垫块设置了通风孔,工艺气体可穿过通风孔,从而提高舟脚和垫块附件的工艺气体浓度,提高了工艺气体分布的均匀性,进而提高了晶片表面镀膜的均匀性。