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专利状态

一种新型扩散石英管

有效

专利申请进度

申请

2015-03-23

授权

2015-10-28

预估到期

2025-03-23

专利基础信息

申请号	CN201520166418.X	申请日	2015-03-23
授权公布号	CN204727993U	授权公告日	2015-10-28
分类号	C30B31/16
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址	江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号

专利法律状态

2019-08-16

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):C30B 31/16变更前专利权人:中建材浚鑫科技股份有限公司地址:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号变更后专利权人:中建材浚鑫科技有限公司地址:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
2015-10-28

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种新型扩散石英管，为“U”形管，包括对称的上管路(1)、下管路(2)，以及位于上管路(1)和下管路(2)中间的进气口(3)；所述上管路(1)和下管路(2)各包括一段弯弧管及一段直管，在每段直管上开设若干扩散孔(4)，向置于上管路(1)、下管路(2)之间的硅片扩散POCL3气体，进行均匀渗透；在下管路(2)靠近其直管与弯弧管过渡位置处开设有出气管(5)。本实用新型的POCL3气体经过内部上、下管路，可以保证整炉400片硅片的一致性，均匀地对硅片进行P扩散，使炉口200片与炉尾200片硅片表面渗杂浓度达到均衡，使整炉的方块电池电阻均匀性得到提升。

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