一种LED生产用外延片清洗装置及清洗工艺

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专利状态

一种LED生产用外延片清洗装置及清洗工艺

有效

专利申请进度

申请

2017-10-30

申请公布

2018-04-03

授权

2020-04-14

预估到期

2037-10-30

专利基础信息

申请号	CN201711035237.3	申请日	2017-10-30
申请公布号	CN107871697A	申请公布日	2018-04-03
授权公布号	CN107871697B	授权公告日	2020-04-14
分类号	H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	安徽世林照明股份有限公司
申请人地址	安徽省六安市霍山经济开发区

专利法律状态

2020-04-14

授权

状态信息

授权
2018-05-01

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67
2018-04-03

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种LED生产用外延片清洗装置，包括支架，所述支架上位于两侧处固定有安装架，所述安装架上通过弹簧连接有多组外延片夹紧机构，所述所述夹紧机构之间设有由气缸驱动的可沿支架上的滑槽滑动的洗刷机构，所述洗刷机构的正上方设有冲洗机构。本发明使用时将外延片放在夹紧机构上夹紧，打开冲洗机构和洗刷机构，对外延片进行清洗，清洗完成后再将外延片取出。本发明使用方便，清洗效率高，清洗效果好，同时可以保护人手不被伤害。

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