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专利状态

一种显示面板的制作方法

有效

专利申请进度

申请

2020-05-13

申请公布

2020-08-25

授权

2024-02-27

预估到期

2040-05-13

专利基础信息

申请号	CN202010401779.3	申请日	2020-05-13
申请公布号	CN111584506A	申请公布日	2020-08-25
授权公布号	CN111584506B	授权公告日	2024-02-27
分类号	H01L27/12;H01L21/77
分类	基本电气元件;
申请人名称	TCL华星光电技术有限公司
申请人地址	广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

专利法律状态

2024-02-27

授权

状态信息

授权
2020-09-18

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H01L27/12；申请日:20200513
2020-08-25

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供一种显示面板的制作方法，该方法包括：在衬底基板上依次制作半导体层、栅绝缘层、第一金属层以及光阻部；所述半导体层的材料为金属氧化物；通过所述光阻部对所述第一金属层和所述栅绝缘层进行图案化处理，以形成栅极并且将未被所述光阻部覆盖的半导体层裸露在外；对所述裸露在外的半导体层进行导体化处理，形成连接部以及在对所述裸露在外的半导体层进行导体化处理的同时使所述光阻部的外表面硬化，得到基底；采用预设气体对所述基底进行处理，以将硬化的光阻部去除；所述预设气体为含氟元素的特殊气体；将剩余的光阻部去除，以将栅极裸露在外。本发明能够在去除硬化的光阻层的同时提高半导体层的导电性能。

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