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专利状态
一种多面反射镜扫描系统
有效
专利申请进度
申请
2021-08-25
授权
2022-02-15
预估到期
2031-08-25
专利基础信息
申请号 CN202122022703.2 申请日 2021-08-25
授权公布号 CN215833611U 授权公告日 2022-02-15
分类号 G01S7/481;G01S17/02
分类 测量;测试;
申请人名称 宁波永新光学股份有限公司
申请人地址 浙江省宁波市高新区木槿路169号
专利法律状态
  • 2022-02-15
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开了一种多面反射镜扫描系统,包括电机、底座和n个反射镜,电机安装在底座上,底座上设置有n组铆压边,每个反射镜分别具有外侧面、内侧面、左侧面、右侧面、上侧面和下侧面,其中外侧面为反射平面,内侧面为定位面,左侧面和右侧面为两个消杂光面,上侧面和下侧面为两个铆压限位面,n个反射镜与n组铆压边一一对应,对应的1个反射镜与1组铆压边中,该反射镜位于该组铆压边的两条铆压边之间,且该反射镜通过其定位面与底座配合进行定位,该组铆压边的两条铆压边通过铆压工艺将该反射镜的两个铆压限位面一一对应压紧固定;优点是既能够满足角度公差±0.0083°的高精度要求,又能满足PV值不超过1微米要求。