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专利状态
一种光芯片的出射位置测定装置及其测定方法
有效
专利申请进度
申请
2022-04-26
申请公布
2022-08-05
授权
2023-06-16
预估到期
2042-04-26
专利基础信息
申请号
CN202210455193.4
申请日
2022-04-26
申请公布号
CN114858054A
申请公布日
2022-08-05
授权公布号
CN114858054B
授权公告日
2023-06-16
分类号
G01B11/00;G01M11/02
分类
测量;测试;
申请人名称
珠海光库科技股份有限公司
申请人地址
广东省珠海市高新区唐家湾镇创新三路399号
专利法律状态
2023-06-16
授权
状态信息
授权
2022-08-23
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效;IPC(主分类):G01B11/00;申请日:20220426
2022-08-05
公布
状态信息
公布
摘要
本发明提供一种光芯片的出射位置测定装置及其测定方法,包括两个待测光芯片、放大透镜组件和平面探测器,每个待测光芯片设置有至少两个光波导,同一个待测光芯片上的光波导的出射端位于同一侧上并呈预设间距相间隔,两个待测光芯片的波导面贴合,每个待测光芯片的至少两个光波导的出射光经过放大透镜组件的成像放大后入射至平面探测器。以芯片波导间距进行定标,既克服了计算透镜组放大倍率难的问题,也避免了选择其它定标物带来的麻烦,通过将两片相同工艺制作的芯片贴在一起,利用上下芯片出射端的距离,可以有效计算出光斑相对于芯片表面的距离。
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