一种等离子体刻蚀硅片夹具

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专利状态

一种等离子体刻蚀硅片夹具

有效

专利申请进度

申请

2014-07-29

授权

2015-01-21

预估到期

2024-07-29

专利基础信息

申请号	CN201420421292.1	申请日	2014-07-29
授权公布号	CN204118100U	授权公告日	2015-01-21
分类号	H01L31/18;H01L21/683
分类	基本电气元件;
申请人名称	无锡赛晶太阳能有限公司
申请人地址	江苏省无锡市宜兴市官林镇工业集中区C区

专利法律状态

2015-01-21

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板、下夹板、螺丝螺杆以及位于上夹板与下夹板之间的垫片，所述上夹板、下夹板上设有与螺丝螺杆相配合的通孔，上夹板、下夹板通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆上，螺丝螺杆上端穿过上夹板并向外延伸，延伸部分与上夹板之间设有螺母；下端固定在下夹板的通孔内；在上夹板与下夹板上各设有一组对称的矩形长条，所述的上夹板上的矩形长条与下夹板上的矩形长条相互对立。本实用新型可以用更小的力使硅片叠加的更紧密减小内部的刻蚀，同时压片在硅片其他位置不施加力，不会使硅片产生隐裂，既改善了刻蚀效果同时避免了整体压力过大造成硅片损伤。

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