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专利状态
一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用
有效
专利申请进度
申请
2023-12-19
申请公布
2024-01-19
授权
2024-02-27
预估到期
2043-12-19
专利基础信息
申请号 CN202311744856.5 申请日 2023-12-19
申请公布号 CN117425115A 申请公布日 2024-01-19
授权公布号 CN117425115B 授权公告日 2024-02-27
分类号 H04R9/06;C23C16/27;C23C16/02;C23C16/56;H04R9/02;H04R31/00
分类 电通信技术;
申请人名称 北京沃尔德金刚石工具股份有限公司
申请人地址 北京市朝阳区酒仙桥路东路1号院7号厂房7-12东五层H-03室
专利法律状态
  • 2024-02-27
    授权
    状态信息
    授权
  • 2024-02-06
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):H04R9/06;申请日:20231219
  • 2024-01-19
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本申请涉及声学膜材料技术领域,具体公开了一种多层金刚石振膜及其制备方法与应用。本申请提供的多层金刚石振膜层级结构如A(BC)n所示;A为基底层,晶体粒度为0.5μm‑2μm;B为生长层,晶体粒度为5μm‑20μm;C为填充层,晶体粒度为5nm‑50nm;所述n为1‑5;所述多层金刚石振膜的表面粗糙度为0.5μm‑1μm;所述金刚石振膜在100‑1000hz频段下的声压级≥105dB,在1000‑10000hz频段下的声压级≥95dB;本申请还提供了上述多层金刚石振膜的制备方法。本申请提供的多层金刚石振膜厚度均匀、表面粗糙度低、谐振与气动阻尼小,因此具备优异的声音传播速度与传播质量。