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专利状态
蒸镀掩模的制造方法
有效
专利申请进度
申请
2016-07-25
申请公布
2020-12-04
授权
2022-12-06
预估到期
2036-07-25
专利基础信息
申请号 CN202010901003.8 申请日 2016-07-25
申请公布号 CN112030102A 申请公布日 2020-12-04
授权公布号 CN112030102B 授权公告日 2022-12-06
分类号 C23C14/04;C23C14/24
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 鸿海精密工业股份有限公司
申请人地址 中国台湾新北市土城区中山路66号
专利法律状态
  • 2022-12-06
    授权
    状态信息
    授权
  • 2020-12-04
    公布
    状态信息
    公布
摘要
一种蒸镀掩模(100)的制造方法,其是具备树脂层(10)、及形成于树脂层(10)上的磁性金属层(20)的蒸镀掩模(100)的制造方法,包含如下步骤:(A)准备基板的步骤;(B)将包含树脂材料的溶液或树脂材料的前驱物溶液赋予至基板的表面后,进行热处理,而形成树脂层的步骤;(C)在树脂层(10)上形成磁性金属层(20)的步骤,该磁性金属层(20)具有包含存在金属膜的实心部(20a(1))与不存在金属膜的非实心部(20a(2))的掩模部(20a)、及以包围掩模部(20a)的方式配置的周边部(20b);(D)在树脂层(10)中的位于掩模部(20a)的非实心部的区域形成多个开口部(13)的步骤;及(E)于步骤(D)之后,从基板剥离树脂层(10)的步骤。