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专利状态

失效分析系统

有效

专利申请进度

申请

2015-12-10

申请公布

2016-03-23

授权

2023-08-15

预估到期

2035-12-10

专利基础信息

申请号	CN201510919140.3	申请日	2015-12-10
申请公布号	CN105425138A	申请公布日	2016-03-23
授权公布号	CN105425138B	授权公告日	2023-08-15
分类号	G01R31/28
分类	测量；测试;
申请人名称	华测检测认证集团股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区70区鸿威工业园C栋

专利法律状态

2023-08-15

授权

状态信息

授权
2017-02-08

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01R31/28；申请日:20151210
2016-03-23

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种失效分析系统，其测试夹具包括底板、载板及夹板，载板为分层结构，贯穿载板设有均匀布置的垂直通孔，贯穿每层载板的两相对侧面设置有一层水平通孔，垂直通孔内设有用于与被测芯片的引脚连接的连接件，连接件包括金属薄片及第一金属探针，第一金属探针套设有弹性部件，还包括第二金属探针，且弹性部件固定于垂直通孔内壁，被测芯片置于载板上表面时，夹板轻压于被测芯片上，被测芯片的引脚压于金属薄片上，弹性部件一起被压缩，且第一金属探针与第二金属探针电性连接；测试机台，测试机可选择地与第二金属探针电性连接，并输出测试信号。本发明是一种能够广泛适用于各种封装结构的芯片进行失效分析的测试设备。

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