一种封闭式恒温冷却研磨抛光机

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专利状态

一种封闭式恒温冷却研磨抛光机

有效

专利申请进度

申请

2015-11-19

授权

2016-04-27

预估到期

2025-11-19

专利基础信息

申请号	CN201520926406.2	申请日	2015-11-19
授权公布号	CN205184467U	授权公告日	2016-04-27
分类号	B24B13/00;B24B55/00;B24B55/03
分类	磨削；抛光;
申请人名称	中科院南京耐尔思光电仪器有限公司
申请人地址	江苏省南京市高淳区开发区花山路23号

专利法律状态

2016-04-27

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种封闭式恒温冷却研磨抛光机，其包括抛光研磨主机，抛光研磨主机包括机架，在机架上设置有至少一个研磨单元，每个研磨单元设置有一个研磨盆，在研磨盆内设置有冷却液喷洒管，在研磨盆的下端设置有研磨盆出液口，每个研磨单元设置有防护罩，防护罩设置在研磨盆的上方，防护罩将研磨盆上部的敞口覆盖，防护罩上设置有用于观察研磨盆内部的活动门。本实用新型是在研磨盆的上方设置了防护罩，防护罩覆盖了研磨盆上部的敞口，飞溅的冷却液会撞击到防护罩上，然后沿防护罩的内壁回流到研磨盆内，然后进入到冷却液冷却系统循环使用，在减少了冷却液浪费的同时，并可有效地提高设备的生产效率。

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