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专利状态

多压杆烧结装置

有效

专利申请进度

申请

2022-06-16

授权

2022-10-21

预估到期

2032-06-16

专利基础信息

申请号	CN202221512915.7	申请日	2022-06-16
授权公布号	CN217641216U	授权公告日	2022-10-21
分类号	H01L21/603;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	快克智能装备股份有限公司
申请人地址	江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路11号

专利法律状态

2022-10-21

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及芯片烧结技术领域，尤其是一种多压杆烧结装置，该多压杆烧结装置包括第一模块及第二模块：第一模块，具有活塞板、第一隔热板及第一模板，第一隔热板配置于活塞板与第一模板之间；本实用新型其活塞利用传力件将压力传递给压杆，相对于断开式设计，避免压杆上的热量直接传递至活塞，传力件起到隔热和传力的效果，改善活塞的工况，同时由于传力件的设置，使活塞得以远离烧结腔，可以避免不同材料因膨胀系数不同受热不均而影响活塞的密封性，隔热板则可隔绝第一模板与活塞板之间的热量传递，避免活塞因温度过高对密封性产生影响。

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