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专利状态
多压杆烧结装置
有效
专利申请进度
申请
2022-06-16
授权
2022-10-21
预估到期
2032-06-16
专利基础信息
申请号
CN202221512915.7
申请日
2022-06-16
授权公布号
CN217641216U
授权公告日
2022-10-21
分类号
H01L21/603;H01L21/67
分类
基本电气元件;
申请人名称
快克智能装备股份有限公司
申请人地址
江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路11号
专利法律状态
2022-10-21
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及芯片烧结技术领域,尤其是一种多压杆烧结装置,该多压杆烧结装置包括第一模块及第二模块:第一模块,具有活塞板、第一隔热板及第一模板,第一隔热板配置于活塞板与第一模板之间;本实用新型其活塞利用传力件将压力传递给压杆,相对于断开式设计,避免压杆上的热量直接传递至活塞,传力件起到隔热和传力的效果,改善活塞的工况,同时由于传力件的设置,使活塞得以远离烧结腔,可以避免不同材料因膨胀系数不同受热不均而影响活塞的密封性,隔热板则可隔绝第一模板与活塞板之间的热量传递,避免活塞因温度过高对密封性产生影响。
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