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专利状态
纳米多层复合膜及其制备方法
有效
专利申请进度
申请
2013-12-25
申请公布
2014-03-26
授权
2016-08-17
预估到期
2033-12-25
专利基础信息
申请号 CN201310728915.X 申请日 2013-12-25
申请公布号 CN103668062A 申请公布日 2014-03-26
授权公布号 CN103668062B 授权公告日 2016-08-17
分类号 C23C14/06;C23C14/32
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 大连远东工具有限公司
申请人地址 辽宁省大连市甘井子区大连湾振兴路218号
专利法律状态
  • 2023-11-03
    专利权的保全及其解除
    状态信息
    专利权保全的解除;IPC(主分类):C23C 14/06;专利号:ZL201310728915X;申请日:20131225;授权公告日:20160817;登记生效日:;解除日:20230914
  • 2023-11-03
    专利权的保全及其解除
    状态信息
    专利权的保全;IPC(主分类):C23C 14/06;专利号:ZL201310728915X;申请日:20131225;授权公告日:20160817;登记生效日:20230914;解除日:
  • 2020-10-27
    专利权的保全及其解除
    状态信息
    专利权的保全;IPC(主分类):C23C14/06;申请日:20131225;授权公告日:20160817;登记生效日:20200914
  • 2016-08-17
    授权
    状态信息
    授权
  • 2014-04-23
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):C23C14/06;申请日:20131225
  • 2014-03-26
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明提供一种纳米多层复合膜及其制备方法。本发明纳米多层复合膜包括顺次设置的Ti层、复合层和TiN表层,所述复合层包括交替设置Ti2N+TiN层和TiN层。本发明还公开了纳米多层复合膜的制备方法包括以下步骤:首先在基体表面沉积Ti层;然后在Ti层背离基体的一侧沉积复合层;最后在复合层上沉积TiN表层;其中,所述复合层通过交替沉积Ti2N+TiN层和TiN层制备而成。本发明纳米多层复合膜兼具硬度高和制造成本低廉的优点。