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专利状态
类镜面表面测试方法
有效
专利申请进度
申请
2014-01-21
申请公布
2014-04-16
授权
2016-11-16
预估到期
2034-01-21
专利基础信息
申请号 CN201410026015.5 申请日 2014-01-21
申请公布号 CN103727897A 申请公布日 2014-04-16
授权公布号 CN103727897B 授权公告日 2016-11-16
分类号 G01B11/24
分类 测量;测试;
申请人名称 先临三维科技股份有限公司
申请人地址 浙江省杭州市萧山区闻堰街道湘滨路1398号
专利法律状态
  • 2018-08-21
    专利权人的姓名或者名称、地址的变更
    状态信息
    专利权人的姓名或者名称、地址的变更;IPC(主分类):G01B11/24;变更事项:专利权人;变更前:杭州先临三维科技股份有限公司;变更后:先临三维科技股份有限公司;变更事项:地址;变更前:311215 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设一路66号华瑞中心1号楼18层;变更后:311258 浙江省杭州市萧山区闻堰街道湘滨路1398号
  • 2016-11-16
    授权
    状态信息
    授权
  • 2014-06-25
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效;IPC(主分类):G01B11/24;申请日:20140121
  • 2014-04-16
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开本发明提供了一种类镜面表面测试方法,属于测量技术领域。它解决了现有的类镜面测试方法测试成本高的问题。本发明类镜面表面测试方法其包括:在显示屏上显示余弦条纹,将CCD分别沿被测物体表面X轴和Y轴方向移动移动以获得每一移动位置移动前后CCD摄取的余弦条纹图,比较每一移动位置移动前后的余弦条纹图以获得相位变化值,通过相位变化值得到被测物体类镜面表面X方向和Y方向的表面斜率,通过对斜率求解积分得到被测物体类镜面表面X方向和Y方向的初始高度分布值。本发明不需要设置辅助反射镜与干涉仪,在测试时仅需要一个CCD摄像机即可而且不需要对CCD摄像机进行标定,有效地降低了测量成本,简化了系统结构。本发明还提供一种类镜面表面测试装置。