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专利状态
一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构
有效
专利申请进度
申请
2021-02-24
授权
2021-12-03
预估到期
2031-02-24
专利基础信息
申请号 CN202120408992.7 申请日 2021-02-24
授权公布号 CN214991817U 授权公告日 2021-12-03
分类号 C23C14/34;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/04
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 芜湖长信科技股份有限公司
申请人地址 安徽省芜湖市经济技术开发区汽经二路六号
专利法律状态
  • 2021-12-03
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开了一种用于改善OGM产品夹具异常放电的结构,包括基板、用于向基板上镀膜的靶材和用于辅助靶材向基板镀膜的框体,所述基板、靶材个框体均竖直放置,靶材转动连接在框体的一侧,基板在小车带动下在框体的另一侧移动。框体包括MoOx框体、Mo框体Ⅰ、Al框体和Mo框体Ⅱ,MoOx靶材、Mo靶材Ⅰ、Al靶材和Mo靶材Ⅱ分别转动连接在MoOx框体、Mo框体Ⅰ、Al框体和Mo框体Ⅱ的一侧,基板在小车带动下在MoOx框体、Mo框体Ⅰ、Al框体和Mo框体Ⅱ的另一侧移动。MoOx框体和Al框体的四条边处分别设有上挡板、下挡板、左挡板和右挡板。挡板的设置可减少基板被MoOx靶材溅射的无效镀膜面积,这样基板表面的MoOx被Mo完全覆盖,不会与Al接触,从而避免了夹具放电异常的发生。