一种基板酸蚀用的可调式设定架

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专利状态

一种基板酸蚀用的可调式设定架

有效

专利申请进度

申请

2022-04-24

授权

2022-11-04

预估到期

2032-04-24

专利基础信息

申请号	CN202220956636.3	申请日	2022-04-24
授权公布号	CN217740485U	授权公告日	2022-11-04
分类号	H01L21/673
分类	基本电气元件;
申请人名称	芜湖长信科技股份有限公司
申请人地址	安徽省芜湖市中国（安徽）自由贸易试验区芜湖片区汽经二路以东

专利法律状态

2022-11-04

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及基板生产设备领域，具体来说是一种基板酸蚀用的可调式设定架，包括安放底座，所述安放底座上设有支撑面板，所述支撑面板包括前面板和后面板，所述前面板与后面板间隔分布；所述前面板与后面板之间布置有限位机构；所述限位机构包括标定限位机构和差异限位机构，本实用新型公开了一种基板酸蚀用的式设定架，本实用新型通过标定限位机构和差异限位机构的设置，可以实现不同尺寸的基板进行放置，极大的提高了设定架的使用范围，另外，本实用新型通过改变卡夹的结构和位置实现对设定架装载基板能力的改变，调节更为方便，同时避免移动限位梁容易引起支撑面板变形的问题。

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