喷淋蚀刻工装底部支撑装置

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专利状态

喷淋蚀刻工装底部支撑装置

有效

专利申请进度

申请

2022-11-07

授权

2023-03-14

预估到期

2032-11-07

专利基础信息

申请号	CN202222955136.0	申请日	2022-11-07
授权公布号	CN218631995U	授权公告日	2023-03-14
分类号	H01L21/687;H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	芜湖长信科技股份有限公司
申请人地址	安徽省芜湖市中国（安徽）自由贸易试验区芜湖片区汽经二路以东

专利法律状态

2023-03-14

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种喷淋蚀刻工装底部支撑装置，包括支撑板和设置于支撑板上且用于放置玻璃基板的支撑凸台，支撑凸台设置多个且相邻两个支撑凸台之间形成容纳蚀刻液的引流槽，支撑凸台上设置让玻璃基板嵌入的基板支撑槽。本实用新型的喷淋蚀刻工装底部支撑装置，通过设置支撑凸台对玻璃基板提供支撑，使玻璃基板底部断面均匀与支撑接触，并设置引流槽可以使蚀刻液、蚀刻反应物快速排出，有助于提高玻璃基板产品质量。

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