透射电子显微镜样品制备所产生形变的控制方法

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

透射电子显微镜样品制备所产生形变的控制方法

有效

专利申请进度

申请

2020-04-16

申请公布

2020-07-31

授权

2024-01-30

预估到期

2040-04-16

专利基础信息

申请号	CN202010301565.9	申请日	2020-04-16
申请公布号	CN111474196A	申请公布日	2020-07-31
授权公布号	CN111474196B	授权公告日	2024-01-30
分类号	G01N23/2005;G01N23/04;G01N23/20;G01N23/20025
分类	测量；测试;
申请人名称	宸鸿科技（厦门）有限公司
申请人地址	福建省厦门市湖里区厦门火炬高新区信息光电园坂尚路199号

专利法律状态

2024-01-30

授权

状态信息

授权
2020-08-25

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G01N23/2005；申请日:20200416
2020-07-31

公布

状态信息

公布

摘要

本揭示内容涉及电镜样品的制备，提供了一种透射电子显微镜样品制备所产生形变的控制方法，包含：提供基于聚焦离子束系统获得置于基底之上的电子元件样品；进行预减薄处理，将电子元件样品减薄至第一厚度其为1.3至1.7微米；第一减薄处理，以一倾转角度和以第一光阑孔将电子元件样品减薄至第二厚度，其中倾转角度为±（0.5度至1.5度），第二厚度为700至900纳米；第二减薄处理，以所述倾转角度和以第二光阑孔将电子元件样品减薄至第三厚度其为250至350纳米；以及第三减薄处理，以所述倾转角度和以第三光阑孔将电子元件样品减薄至第四厚度其小于或等于100纳米；其中，第一光阑孔大于第二光阑孔，第二光阑孔大于第三光阑孔。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信