一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法

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专利状态

一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法

有效

专利申请进度

申请

2023-02-17

申请公布

2023-06-06

授权

2023-12-19

预估到期

2043-02-17

专利基础信息

申请号	CN202310137731.X	申请日	2023-02-17
申请公布号	CN116217067A	申请公布日	2023-06-06
授权公布号	CN116217067B	授权公告日	2023-12-19
分类号	C03B37/018;C03B19/01
分类	玻璃；矿棉或渣棉;
申请人名称	长飞光纤光缆股份有限公司
申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号

专利法律状态

2023-12-19

授权

状态信息

授权
2023-06-23

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):C03B37/018；申请日:20230217
2023-06-06

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种石英玻璃圆柱体的沉积系统及方法，所述系统包括有沉积腔，沉积腔中安设有上、下旋转夹盘，对应于上、下旋转夹盘安设有上下间隔的喷灯，上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连，沉积腔的一侧与进风腔相连通，沉积腔的另一侧与抽风腔相连通，其特征在于所述的喷灯包括有原料气体喷口和燃料气体喷口，在喷灯喷口的最外圈设置有气环喷口，所述的气环喷口与温度可调气源相连通。本发明气环喷口喷出气体形成筒状气帘，利用稳定气流的气帘取代喷灯前的罩子，可将沉积区域气体约束在气体环内，为二氧化硅的反应区提供稳定的气流场，保证整个沉积过程一致性。同时，通入气环的气体温度可随着沉积过程逐渐变化，使得沉积区域上下热场温度分布均匀，从而提高沉积质量。

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