一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置

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专利状态

一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置

有效

专利申请进度

申请

2023-04-27

授权

2023-10-13

预估到期

2033-04-27

专利基础信息

申请号	CN202320994573.5	申请日	2023-04-27
授权公布号	CN219824018U	授权公告日	2023-10-13
分类号	C03B37/014;C03B37/018
分类	玻璃；矿棉或渣棉;
申请人名称	长飞光纤光缆股份有限公司
申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号

专利法律状态

2023-10-13

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种用于光纤预制棒沉积的气体原料供应装置，包括有蒸发柜和流量混合柜，所述的蒸发柜中安设有蒸发料瓶，所述的流量混合柜中安设有MFC，所述的蒸发料瓶包括SiCl4蒸发料瓶和GeCl4蒸发料瓶，每种气体原料蒸发料瓶分别配置有料瓶加热装置，每种气体原料蒸发料瓶通过送气管道分别与流量混合柜中的MFC输入口相接，MFC的输出口与混合气体输送管道相连通，其特征在于所述的SiCl4和GeCl4蒸发料瓶分别设置有两个，两个蒸发料瓶的进料口分别通过控制阀与送料管道相连通，两个蒸发料瓶的送气口分别通过控制阀或切换阀与SiCl4送气管道相连通。本实用新型结构设置合理简便，结构设置合理简便，不仅能提供持续不间断的气体原料，而且气压稳定，提高了设备的生产效率。

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