衍射光学元件的检测系统_专利查询-品牌网

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专利状态

衍射光学元件的检测系统

有效

专利申请进度

申请

2020-04-26

授权

2020-10-16

预估到期

2030-04-26

专利基础信息

申请号	CN202020657650.4	申请日	2020-04-26
授权公布号	CN211696895U	授权公告日	2020-10-16
分类号	G01M11/02;G02B27/28
分类	测量；测试;
申请人名称	浙江水晶光电科技股份有限公司
申请人地址	广东省东莞市松山湖园区兴业路4号8栋

专利法律状态

2020-12-18

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):G01M 11/02；专利号:ZL2020206576504；登记生效日:20201207；变更事项:专利权人；变更前权利人:浙江水晶光电科技股份有限公司；变更后权利人:东莞埃科思科技有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:318000 浙江省台州市椒江区星星电子产业区A5号(洪家后高桥村)；变更后权利人:523000 广东省东莞市松山湖园区兴业路4号8栋
2020-10-16

授权

状态信息

授权

摘要

本申请提供一种衍射光学元件的检测系统，包括：光源、分束部、固定部和检测部，光源用于向分束部发射线偏振光；分束部用于将接收的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光；固定部用于固定待测衍射光学元件；检测部用于接收衍射光束，以对待测衍射光学元件进行检测，其中，衍射光束为待测衍射光学元件对两束线偏振光进行衍射形成的光束。这样就无需为实现在两个方向上对DOE的检测的过程中旋转或移动DOE，一方面可以提高对DOE的检测效率，另一方面，无需将DOE放置两次，可以尽可能减小对DOE造成损害的可能性，从而提升衍射光学元件的检测系统在DOE的检测过程中的安全性。

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