MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备

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专利状态

MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备

有效

专利申请进度

申请

2020-04-08

申请公布

2020-05-12

授权

2020-07-31

预估到期

2040-04-08

专利基础信息

申请号	CN202010267014.5	申请日	2020-04-08
申请公布号	CN111147998A	申请公布日	2020-05-12
授权公布号	CN111147998B	授权公告日	2020-07-31
分类号	H04R19/02;H04R31/00
分类	电通信技术;
申请人名称	共达电声股份有限公司
申请人地址	山东省潍坊市坊子区凤山路68号

专利法律状态

2020-07-31

授权

状态信息

授权
2020-06-05

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效 IPC(主分类):H04R19/02
2020-05-12

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备。一种MEMS微型扬声器，所述MEMS微型扬声器包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜，所述支撑结构上开设有背腔以裸露部分所述压电振膜；其中，所述压电振膜包括与所述背腔相对的低频区，所述低频区包括高频区和低频子区域，且所述低频子区域刚性小于所述高频区刚性。上述MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的制备方法及电子设备，在同一个发声单体中能够同时发出高频频段声波和低频频段声波，从而延伸带宽范围；同时相比于传统的整合多个发声单体的方式，还能增大压电振膜的有效区域面积，减小MEMS微型扬声器整体尺寸。

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