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专利状态

一种刻蚀装置

有效

专利申请进度

申请

2017-12-04

授权

2018-06-08

预估到期

2027-12-04

专利基础信息

申请号	CN201721663551.1	申请日	2017-12-04
授权公布号	CN207474431U	授权公告日	2018-06-08
分类号	H01L21/67
分类	基本电气元件;
申请人名称	无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址	江苏省无锡市新吴区新华路9号

专利法律状态

2018-06-08

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀装置，其中，所述刻蚀装置包括主刻蚀槽、副刻蚀槽和交换器，所述主刻蚀槽的出口和所述副刻蚀槽的入口连接，所述副刻蚀槽的出口和所述交换器的入口连接，所述交换器的出口与所述主刻蚀槽的入口连接，位于所述主刻蚀槽内的酸性刻饰液经过副刻蚀槽以及所述交换器进行冷却后返回到所述主刻蚀槽内，并能够在所述主刻蚀槽中对硅片进行刻蚀。本实用新型提供的刻蚀装置由于取消了冰水机，降低了因冰水机故障带来的工艺异常，降低了刻蚀的成本。

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