• 热门行业
  • 装修建材
  • 家居生活
  • 餐饮食品
  • 母婴教育
  • 电脑办公
  • 服装首饰
  • 汽车工具
  • 家电数码
  • 机械化工
  • 休闲美容
返回上一页
专利状态
探测管式PECVD石墨舟片温度的方法
有效
专利申请进度
申请
2016-09-28
申请公布
2017-02-01
授权
2019-01-01
预估到期
2036-09-28
专利基础信息
申请号 CN201610860447.5 申请日 2016-09-28
申请公布号 CN106367734A 申请公布日 2017-02-01
授权公布号 CN106367734B 授权公告日 2019-01-01
分类号 C23C16/44
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址 江苏省无锡市新吴区新华路9号
专利法律状态
  • 2019-01-01
    授权
    状态信息
    授权
  • 2017-03-01
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/44申请日:20160928
  • 2017-02-01
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明涉及一种探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,其特征是:在所述石墨舟片上涂覆一层感温变色材料,或者将涂覆有感温变色材料的贴片粘贴于石墨舟片表面;所述感温变色材料至少包括一种变色温度为25~30℃的感温变色材料。所述感温变色材料采用一种,变色温度为25~30℃。所述感温变色材料采用多种,该多种感温变色材料的变色温度以温度梯度的形式分布。本发明所述探测管式PECVD石墨舟片温度的方法,能够快速识别石墨舟是否冷却至常温的方法。