一种稳定气体出气量的控制器

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专利状态

一种稳定气体出气量的控制器

有效

专利申请进度

申请

2018-07-20

授权

2019-03-01

预估到期

2028-07-20

专利基础信息

申请号	CN201821161140.7	申请日	2018-07-20
授权公布号	CN208562594U	授权公告日	2019-03-01
分类号	C30B31/16;C30B31/18;H01L31/18
分类	晶体生长〔3〕;
申请人名称	无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址	江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号

专利法律状态

2020-11-03

专利申请权、专利权的转移

状态信息

专利权的转移；IPC(主分类):C30B 31/16；专利号:ZL2018211611407；登记生效日:20201021；变更事项:专利权人；变更前权利人:洛阳尚德太阳能电力有限公司；变更后权利人:无锡尚德太阳能电力有限公司；变更事项:地址；变更前权利人:471000 河南省洛阳市中国(河南)自由贸易试验区洛阳片区高新技术产业开发区华夏路；变更后权利人:214028 江苏省无锡市新吴区新华路9号、16号
2019-03-01

实用新型专利权授予

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种稳定气体出气量的控制器，控制器由壳体组成，壳体内部形成有空腔，壳体左侧内壁中间固定有弹簧，弹簧另一端固定有阀门，壳体右侧面设有第一出气口，第一出气口凸出壳体右侧面且其外壁带有螺纹，壳体右侧面内壁设置有挡块，挡块的内壁呈漏斗状，形成漏斗状空腔，该漏斗状空腔与第一出气口连通；阀门为锥体状，其侧壁的倾斜角度与挡块漏斗状内壁的倾斜角度一致，控制器壳体上还设置有第二出气口；控制器通过旁路与扩散源瓶出气管连接，控制器与旁路螺纹连接。本实用新型可根据扩散源瓶出气量的变化，自动调整管内气压，从而控制通入扩散管内的三氯氧磷气体分子量，不需要人工对扩散工艺参数频繁调整，制程稳定。

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