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专利状态

一种硅太阳能电池扩散炉

有效

专利申请进度

申请

2020-07-29

授权

2021-02-12

预估到期

2030-07-29

专利基础信息

申请号	CN202021532223.X	申请日	2020-07-29
授权公布号	CN212542461U	授权公告日	2021-02-12
分类号	H01L31/18;
分类	基本电气元件;
申请人名称	无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址	江苏省无锡市新吴区新华路9号

专利法律状态

2021-02-12

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种扩散炉，具体涉及一种硅太阳能电池扩散炉。本实用新型的扩散炉包括炉体、进气管和排气管，所述进气管一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，并沿炉体轴向延伸至载片石英舟的末端上方，炉体内的进气管部分设置有若干个喷淋口；所述排气管设置于炉体的底部，一部分设置于炉体外，另一部分设置于炉体内，炉体内排气管的长度为20‑35厘米。本实用新型一方面将排气石英管的炉内长度缩短，减小自重，使得石英管炉尾支点处杆杆力减小，石英管不易折断；另一方面将磷源进气管增长，进气管由一根增加至两根，两根进气管对称分布在与所述载片石英舟呈45度角的上方，并设置斜后45度喷淋口，磷源在管内分布更均匀，硅片扩散方阻更均匀。

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