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专利状态
一种金刚石涂层的制备方法及其制备装置
有效
专利申请进度
申请
2017-12-05
申请公布
2018-06-01
授权
2020-02-14
预估到期
2037-12-05
专利基础信息
申请号 CN201711267569.4 申请日 2017-12-05
申请公布号 CN108103476A 申请公布日 2018-06-01
授权公布号 CN108103476B 授权公告日 2020-02-14
分类号 C23C16/27;C23C16/448;C23C16/02
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 富耐克超硬材料股份有限公司
申请人地址 河南省郑州市高新技术开发区冬青街16号
专利法律状态
  • 2020-02-14
    授权
    状态信息
    授权
  • 2018-06-26
    实质审查的生效
    状态信息
    实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/27
  • 2018-06-01
    公布
    状态信息
    公开
摘要
本发明提供一种金刚石涂层的制备方法,其包括以下步骤:将三聚氰胺溶解于醇溶液中,得到混合溶液;以甲烷和氢气为反应气源,将所述反应气源和所述混合溶液同时通入沉积室中,利用热丝气相沉积法在基体的表面沉积金刚石,得到金刚石涂层。该方法在气相沉积中引入了三聚氰胺和醇溶液,三聚氰胺和醇分解形成NH3和N+,不仅可以有效提高金刚石的生长速率,还可以将沉积在热丝上无定形碳氧化,提高热丝发热效率和使用寿命。同时,本发明还提供一种上述金刚石涂层的制备装置,该装置结构简单,设计合理,适于工业应用。