热喷涂法制备旋转靶用ITO粉及其生产方法和应用

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专利状态

热喷涂法制备旋转靶用ITO粉及其生产方法和应用

有效

专利申请进度

申请

2015-12-24

申请公布

2016-05-04

授权

2017-04-19

预估到期

2035-12-24

专利基础信息

申请号	CN201510983183.8	申请日	2015-12-24
申请公布号	CN105540647A	申请公布日	2016-05-04
授权公布号	CN105540647B	授权公告日	2017-04-19
分类号	C01G19/02;C04B35/453;C04B35/626
分类	无机化学;
申请人名称	株洲冶炼集团股份有限公司
申请人地址	湖南省株洲市天元区渌江路10号

专利法律状态

2017-04-19

授权

状态信息

授权
2016-06-01

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):C01G 19/02申请日:20151224
2016-05-04

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种热喷涂法制备旋转靶用ITO粉及其生产方法和应用，生产方法包括采用湿化学法制备ITO共沉淀粉、湿磨分散处理并进行喷雾造粒得到造粒粉、将造粒粉脱脂烧结、还原处理得到ITO粉的步骤。该方法制备的ITO粉具备良好的流动性、较好的强度及良好的烧结性能，在使用热喷涂法过程中不易被气流打碎，有利于提高制备过程粉料的成材率，确保热喷涂靶的密度和靶材镀膜质量，适合直接用于热喷涂法制备ITO旋转靶。ITO粉为该生产方法制备得到的ITO粉，应用为将该生产方法制备得到的ITO粉用于热喷涂法制备旋转靶。

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