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专利状态
一种真空系统及蒸镀设备
有效
专利申请进度
申请
2023-05-18
授权
2023-12-08
预估到期
2033-05-18
专利基础信息
申请号 CN202321211127.9 申请日 2023-05-18
授权公布号 CN220149639U 授权公告日 2023-12-08
分类号 C23C14/24;C23C14/56
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 无锡先导智能装备股份有限公司
申请人地址 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新锡路20号
专利法律状态
  • 2023-12-08
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型涉及真空系统技术领域,公开了一种真空系统及蒸镀设备,真空系统包括罗茨泵组、机械泵组、扩散泵组以及维持泵组,罗茨泵组连通于蒸镀设备的第一腔体和第二腔体,机械泵组连通于罗茨泵组,扩散泵组连通于罗茨泵组和第一腔体,维持泵组连通于扩散泵组和罗茨泵组之间,维持泵组用于在扩散泵组启动前,使维持泵组和扩散泵组之间的压强达到扩散泵组进行预热时所需的安全压强。采用本实用新型的真空系统,利用维持泵组使得扩散泵组之间的压强达到扩散泵组进行预热所需的安全压强,扩散泵组预热时扩散泵组的前级泵组无需持续工作,真空系统的能源消耗较小。