一种环形微波等离子体谐振腔

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专利状态

一种环形微波等离子体谐振腔

有效

专利申请进度

申请

2020-05-08

申请公布

2020-08-14

授权

2023-04-25

预估到期

2040-05-08

专利基础信息

申请号	CN202010383326.2	申请日	2020-05-08
申请公布号	CN111542166A	申请公布日	2020-08-14
授权公布号	CN111542166B	授权公告日	2023-04-25
分类号	H05H1/46;H01J49/10
分类	其他类目不包含的电技术;
申请人名称	烽火通信科技股份有限公司
申请人地址	湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新四路6号

专利法律状态

2023-04-25

授权

状态信息

授权
2020-08-14

公布

状态信息

公布

摘要

本发明公开了一种环形微波等离子体谐振腔，涉及微波等离子体谐振腔领域，包括：谐振腔壳体，其内设有一腔体；第一截止波导，其固定在谐振腔壳体的一端，第一截止波导包括一收容于腔体内的筒体，筒体与谐振腔壳体形成一环形空腔，且筒体上设有多条狭缝；第二截止波导，其固定在谐振腔壳体的另一端，第二截止波导至少部分伸入腔体内以与筒体相连，并与筒体连通形成一用于收容石英反应管的安装孔。本发明中的环形微波等离子体谐振腔能使负载反射系数S11维持在较低的水平，并能够提高微波能量的耦合率，以获得高密度的等离子体。

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