一种用于制备晶体薄膜模板平整度的气轨结构

热门行业
装修建材
家居生活
餐饮食品
母婴教育
电脑办公
服装首饰
汽车工具
家电数码
机械化工
休闲美容

热门行业

教育培训
板材
地板
涂料
家纺
集成吊顶
美缝剂
木门
硅藻泥
管材
指纹锁
橱柜
衣柜
床垫
电热水器
集成灶
暖气片
净水器
酒店
卫浴

返回上一页

专利状态

一种用于制备晶体薄膜模板平整度的气轨结构

有效

专利申请进度

申请

2020-04-27

授权

2020-09-25

预估到期

2030-04-27

专利基础信息

申请号	CN202020672950.X	申请日	2020-04-27
授权公布号	CN211577661U	授权公告日	2020-09-25
分类号	G03F7/20
分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
申请人名称	深圳市裕同包装科技股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区石岩街道水田社区石环路1号A栋，B栋，C栋，E栋，H栋，J栋，G栋

专利法律状态

2020-09-25

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于制备晶体薄膜模板平整度的气轨结构，包括光路组件，及气路组件；光路组件包括凸透镜，第一反射镜，及第二反射镜；沿光线传播方向，第一反射镜设于凸透镜的后端，第二反射镜设于第一反射镜的上端；气路组件包括光刻承载平台，晶体模板，及气垫导轨。本实用新型通过凸透镜，第一反射镜，第二反射镜，第三反射镜，第四反射镜，及第五反射镜将光线反射至晶体模板表面，使得光线反射至晶体模板表面更加稳定可控，且气垫导轨设于光刻承载平台的两端，降低了光刻承载平台与气垫导轨之间的摩擦力，提升了光刻承载平台的稳定性、灵活性，从而解决同一批印刷品乃至不同批次的质量不一致的问题。

更多专利

全国服务热线：

在线客服

1211389656 咨询

商务合作

85926368 咨询

媒体合作

921888730 咨询

在线客服
客服微信号

品牌网官方客服微信

打开微信扫一扫

客服微信
商务合作微信

商务合作详谈

打开微信扫一扫

商务合作
回到顶部

在线客服

商务合作

媒体合作

客服微信号

商务合作微信