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专利状态
一种离心绑定ITO旋转靶材的方法
有效
专利申请进度
申请
2020-12-30
申请公布
2021-05-25
授权
2023-04-28
预估到期
2040-12-30
专利基础信息
申请号 CN202011603040.7 申请日 2020-12-30
申请公布号 CN112831764A 申请公布日 2021-05-25
授权公布号 CN112831764B 授权公告日 2023-04-28
分类号 C23C14/35
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 柯盛新材料有限公司
申请人地址 湖南省长沙市经济技术开发区王家冲路18号
专利法律状态
  • 2023-04-28
    授权
    状态信息
    授权
  • 2021-05-25
    公布
    状态信息
    公布
摘要
本发明公开了一种离心绑定ITO旋转靶材的方法,属于ITO旋转靶材加工技术领域,该方法包括以下步骤:S1、预处理:对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理;S2、组装:将背管从电热管上方往下插入,以使背管插设在安装座顶面插槽内,并使安装座上的定位筒插设在背管内;将单节ITO靶管套在背管上,并使ITO靶管插设在安装座顶面插槽内,ITO靶管与背管之间设有间隙;S3、灌铟绑定:由下往上对单节ITO靶管进行逐步绑定。本发明通过转动离心,使得熔化后的铟将紧贴ITO靶管内壁,绑定率较好。