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专利状态
真空镀膜机的自动快速放气装置
有效
专利申请进度
申请
2020-04-30
授权
2020-12-29
预估到期
2030-04-30
专利基础信息
申请号 CN202020706118.7 申请日 2020-04-30
授权公布号 CN212247191U 授权公告日 2020-12-29
分类号 C23C14/30
分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称 广东东华光电科技有限公司
申请人地址 广东省东莞市厚街镇汀山村坑口工业区
专利法律状态
  • 2021-07-09
    专利权人的姓名或者名称、地址的变更
    状态信息
    专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):C23C14/30变更前 专利权人:广东东华光电科技有限公司 地址:523000 广东省东莞市厚街镇汀山村坑口工业区变更后 专利权人:广东东华光电科技有限公司 地址:523000 广东省东莞市厚街镇汀山广场北三路3号
  • 2020-12-29
    授权
    状态信息
    授权
摘要
本实用新型公开了真空镀膜机的自动快速放气装置,包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室,所述真空镀膜机的内部设置有真空室,真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道,缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口,且放气口与真空室连通;缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板,且孔板位于静电除尘器的上方,孔板上成型有密集排列分布的锥形孔;本实用新型采用密集排列分布的放气口向真空室内放气,有利于往真空室均匀、快速地充气,避免气流在真空室内分布不均;外界气体经过在缓冲气室内缓冲,减缓气体流动,并且被静电除尘器以及孔板配合进行除尘过滤,有效防止灰尘进入真空室内。