真空吸附平台的气路控制系统

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专利状态

真空吸附平台的气路控制系统

有效

专利申请进度

申请

2013-08-27

申请公布

2013-12-11

授权

2015-12-23

预估到期

2033-08-27

专利基础信息

申请号	CN201310380097.9	申请日	2013-08-27
申请公布号	CN103439960A	申请公布日	2013-12-11
授权公布号	CN103439960B	授权公告日	2015-12-23
分类号	G05B19/44
分类	控制；调节;
申请人名称	广东大族粤铭激光集团股份有限公司
申请人地址	广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业东路28号

专利法律状态

2016-05-04

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):G05B19/44；变更事项:专利权人；变更前:广东大族粤铭激光科技股份有限公司；变更后:广东大族粤铭激光集团股份有限公司；变更事项:地址；变更前:523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业东路28号；变更后:523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业东路28号
2015-12-23

授权

状态信息

授权
2014-01-08

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G05B19/44；申请日:20130827
2013-12-11

公布

状态信息

公布

摘要

一种真空吸附平台的气路控制系统，包括真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩、第二旋涡气泵及电磁阀，真空吸附工作台、第一分气座、直流阀、第一旋涡气泵、第二分气座、调压过滤器、烟气净化罩及第二旋涡气泵通过若干气管依次串联连接；电磁阀的两端分别连接于第一分气座和调压过滤器上；加工时，真空吸附工作台处于负压状态；完成材料加工后，第一旋涡气泵所吹出的气体自电磁阀进入真空吸附工作台。防止蚀刻机架加工完成后，受负压影响，难于取料的现象发生。

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