一种用于高精度表面形貌检测的准线性色散物镜

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专利状态

一种用于高精度表面形貌检测的准线性色散物镜

有效

专利申请进度

申请

2021-12-20

申请公布

2022-03-25

授权

2023-07-28

预估到期

2041-12-20

专利基础信息

申请号	CN202111558675.4	申请日	2021-12-20
申请公布号	CN114236761A	申请公布日	2022-03-25
授权公布号	CN114236761B	授权公告日	2023-07-28
分类号	G02B13/00;G02B27/00;G01B11/24
分类	光学;
申请人名称	福建福光股份有限公司
申请人地址	福建省福州市马尾区江滨东大道158号

专利法律状态

2023-07-28

授权

状态信息

授权
2022-04-12

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):G02B13/00；申请日:20211220
2022-03-25

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及一种用于高精度表面形貌检测的准线性色散物镜，所述色散物镜的光线系统包括沿光线入射方向依次设置的光纤、发散透镜、中继透镜组和会聚透镜组和待测物体；所述发散透镜为平凹负透镜A‑1，所述中继透镜组由弯月正透镜B‑1、弯月正透镜B‑2以及弯月正透镜B‑3组成；所述会聚透镜组由双凸正透镜C‑1以及弯月正透镜C‑2组成。基于几何像差原理，考虑了色散距离与波长的非线性关系和色散范围的矛盾点，提出逐步提升光线与系统中镜片的交高来扩大色散范围，设计采用全球面和非密接透镜的形式，有利于球差的校正，不仅获得较大的工作距离，而且具有较好的线性性能。

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