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专利状态

透射式MEMS芯片及照明系统

有效

专利申请进度

申请

2018-08-01

申请公布

2020-02-14

授权

2023-06-27

预估到期

2038-08-01

专利基础信息

申请号	CN201810862512.7	申请日	2018-08-01
申请公布号	CN110790216A	申请公布日	2020-02-14
授权公布号	CN110790216B	授权公告日	2023-06-27
分类号	B81B7/00;B81B7/02
分类	微观结构技术〔7〕;
申请人名称	华域视觉科技（上海）有限公司
申请人地址	上海市嘉定区叶城路767号

专利法律状态

2023-06-27

授权

状态信息

授权
2020-03-10

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):B81B7/00；申请日:20180801
2020-02-14

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及智能照明技术领域，尤其涉及一种透射式MEMS芯片及一种包括该透射式MEMS芯片的照明系统。该透射式MEMS芯片包括一中心设有透光通道的支撑框架，支撑框架上设有可开启或关闭透光通道的MEMS微镜阵列和用于测量MEMS微镜阵列温度的第一测温器件，MEMS微镜阵列与驱动MEMS微镜阵列动作的芯片驱动电路相连接，第一测温器件与芯片驱动电路相连接。由第一测温器件对MEMS微镜阵列的整体温度进行实时测量，并将测量结果反馈给芯片驱动电路，芯片驱动电路则可根据该温度反馈信号动态调整MEMS微镜阵列的工作状态，从而保证透射式MEMS芯片工作在其最佳工作状态。

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