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专利状态

一种晶圆减薄用气浮主轴

有效

专利申请进度

申请

2022-09-07

申请公布

2022-10-18

授权

2023-03-21

预估到期

2042-09-07

专利基础信息

申请号	CN202211087948.6	申请日	2022-09-07
申请公布号	CN115194648A	申请公布日	2022-10-18
授权公布号	CN115194648B	授权公告日	2023-03-21
分类号	B24B41/047;B24B7/22;B24B41/00
分类	磨削；抛光;
申请人名称	深圳市长盈精密技术股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市宝安区福永镇桥头富桥工业3区3号厂

专利法律状态

2023-03-21

授权

状态信息

授权
2022-10-18

公布

状态信息

公布

摘要

本发明涉及研磨设备的传动技术领域，特别涉及一种晶圆减薄用气浮主轴，包括安装罩、传动轴组件、驱动装置、研磨组件、轴承座和驱动所述研磨组件沿所述传动轴组件的径向振动的超声振动组件和设置于所述研磨组件与所述传动轴组件间用于将所述传动轴组件的转矩传递给所述研磨组件并防止所述研磨组件的振动传递到所述传动轴组件的隔震组件，所述驱动装置设置于所述安装罩内，所述轴承座上设置有进气孔，所述研磨组件设置在所述安装罩外。本发明能有效提高晶圆片研磨后的表面质量。

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