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专利状态

硅片输送机构

有效

专利申请进度

申请

2015-05-29

授权

2015-11-18

预估到期

2025-05-29

专利基础信息

申请号	CN201520358229.2	申请日	2015-05-29
授权公布号	CN204792863U	授权公告日	2015-11-18
分类号	H01L31/18;H01L21/677
分类	基本电气元件;
申请人名称	中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址	江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号

专利法律状态

2019-07-26

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):H01L 31/18变更前专利权人:中建材浚鑫科技股份有限公司地址:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号变更后专利权人:中建材浚鑫科技有限公司地址:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
2015-11-18

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供一种硅片输送机构，包括硅片存储架、横移机构、输送机构以及硅片堆叠架，横移机构包括横移导轨、滑动设置于横移导轨上的滑动架、沿着上下方向滑动设置的吸盘、驱动吸盘滑动的气缸，输送机构包括转动设置的两个转辊、呈环形设置且绕设于两个转辊上的两根输送绳,输送机构的上方设置有用于检测硅片质量的检测机构，检测机构包括L形支撑架、设置于L形支撑架上的摄像头，摄像头与显示屏相连接，通过自动化的方式将硅片输送堆叠，生产效率高，且能够在线检测。

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