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专利状态

硅片载片盒

有效

专利申请进度

申请

2016-12-28

授权

2017-07-14

预估到期

2026-12-28

专利基础信息

申请号	CN201621455134.3	申请日	2016-12-28
授权公布号	CN206332014U	授权公告日	2017-07-14
分类号	H01L21/673;H01L31/18
分类	基本电气元件;
申请人名称	中建材浚鑫科技有限公司
申请人地址	江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号

专利法律状态

2019-07-26

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):H01L21/673；变更事项:专利权人；变更前:中建材浚鑫科技股份有限公司；变更后:中建材浚鑫科技有限公司；变更事项:地址；变更前:214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号；变更后:214400 江苏省江阴市申港镇镇澄路1011号
2017-07-14

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型揭示了一种硅片载片盒，为顶部及侧面局部敞口的矩形盒体。特别地，该矩形盒体设有由载片支撑底板分隔的两个区域空间，载片支撑底板上侧为放置硅片区域，载片支撑底板下侧与矩形盒体底板之间为放置流程卡区域，并且放置硅片区域的内壁设有减少硅片与内壁接触面积的凸起部。该载片支撑底板相对矩形盒体背板沿由近及远的方向呈上倾斜状，且设有取片缺口。应用本实用新型的硅片载片盒，通过对硅片载片盒划分区域并设置凸起部，有效减少了半成品硅片与载片盒底面和背板的接触面积，减少了硅片损伤、崩边的风险；同时也杜绝了流程卡共同放置的沾污隐患，提高了产线合格率。

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