石英红外加热装置及其对基板加热的方法

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专利状态

石英红外加热装置及其对基板加热的方法

有效

专利申请进度

申请

2021-11-02

申请公布

2022-03-01

授权

2024-01-26

预估到期

2041-11-02

专利基础信息

申请号	CN202111292027.9	申请日	2021-11-02
申请公布号	CN114126101A	申请公布日	2022-03-01
授权公布号	CN114126101B	授权公告日	2024-01-26
分类号	H05B3/00;H05B3/02
分类	其他类目不包含的电技术;
申请人名称	TCL华星光电技术有限公司
申请人地址	广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

专利法律状态

2024-01-26

授权

状态信息

授权
2022-03-18

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):H05B3/00；申请日:20211102
2022-03-01

公布

状态信息

公布

摘要

本申请实施例公开了一种石英红外加热装置及其对基板加热的方法，石英红外加热装置包括多个并排设置的红外加热管、形成密封腔的石英盖板，以及冷却机构，红外加热管位于密封腔内，冷却机构包括第一冷却喷头和第二冷却喷头，第一冷却喷头位于密封腔内，第二冷却喷头位于密封腔外，红外加热管经过石英盖板向基板辐射热，可减少热胀冷缩摩擦产生的颗粒物，对密封腔内、外的降温处理分开进行，可防止密封腔内的颗粒物进入到密封腔外，避免颗粒物附着在基板上。

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