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专利状态

薄膜厚度测量装置

有效

专利申请进度

申请

2014-08-25

授权

2014-12-24

预估到期

2024-08-25

专利基础信息

申请号	CN201420481436.2	申请日	2014-08-25
授权公布号	CN204043623U	授权公告日	2014-12-24
分类号	G01B11/06
分类	测量；测试;
申请人名称	珠海光库科技股份有限公司
申请人地址	广东省珠海市软件园路1号生产加工中心5#楼二层1-6单元、8单元

专利法律状态

2015-08-12

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):G01B11/06；变更事项:专利权人；变更前:珠海光库科技股份有限公司；变更后:珠海光库科技股份有限公司；变更事项:地址；变更前:519030 广东省珠海市唐家软件园路1号B5栋2楼；变更后:519030 广东省珠海市软件园路1号生产加工中心5#楼二层1-6单元、8单元
2015-07-22

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

状态信息

专利权人的姓名或者名称、地址的变更；IPC(主分类):G01B11/06；变更事项:专利权人；变更前:光库通讯(珠海)有限公司；变更后:珠海光库科技股份有限公司；变更事项:地址；变更前:519030 广东省珠海市唐家软件园路1号B5栋2楼；变更后:519030 广东省珠海市唐家软件园路1号B5栋2楼
2014-12-24

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型提供一种薄膜厚度测量装置，包括双光纤准直器和干涉组件，干涉组件包括分光棱镜、两块通光玻璃、两块反射镜、两块分隔件和薄膜安装位，双光纤准直器用于传输由光源的输入光和干涉组件的输出光，干涉组件用于形成迈克尔逊干涉信号，通过插入薄膜前后干涉信号的光程差变化信息，可以计算出薄膜厚度，干涉组件的各个光学部件为热不敏感材料和低热膨胀系数的材料制成，且为对称结构，可对温度变化做自动补偿，并且用光胶工艺紧密连接构成一个整体，再粘接在壳体上，双光纤准直器也固定在壳体上，从而双光纤准直器、干涉组件、壳体为一个整体。应用薄膜厚度测量装置对薄膜厚度作测量时不受外界温度和振动的干扰，提高了干涉测量的稳定性。

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