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专利状态
具有气动锁紧功能的干涉仪精调机构
有效
专利申请进度
申请
2014-12-12
申请公布
2015-04-01
授权
2017-05-24
预估到期
2034-12-12
专利基础信息
申请号
CN201410760265.1
申请日
2014-12-12
申请公布号
CN104482879A
申请公布日
2015-04-01
授权公布号
CN104482879B
授权公告日
2017-05-24
分类号
G01B11/24
分类
测量;测试;
申请人名称
上海机床厂有限公司
申请人地址
上海市杨浦区军工路1146号
专利法律状态
2017-05-24
授权
状态信息
授权
2015-04-29
实质审查的生效
状态信息
实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/24申请日:20141212
2015-04-01
公布
状态信息
公布
摘要
本发明涉及一种具有气动锁紧功能的干涉仪精调机构,中座的凸圆弧导向面与底座的凹圆弧导向面配合连接,构成绕X轴旋转副;连接座与中座配合连接,构成绕Z轴旋转副;中座与底座之间装有齿轮齿条传动副,用于实现中座绕X轴方向的转动,连接座与中座之间装有齿轮齿条传动副,用于实现连接座绕Z轴方向转动;底座圆弧导向面上布置气动锁紧部件,用于锁紧中座绕X轴方向转动位置,中座上均布气动锁紧部件,用于锁紧连接座绕Z轴方向转动位置。本发明可使干涉仪绕X轴、Z轴做二自由度位姿调整,调整范围为±5°,调整分辨率为0.1°,满足干涉仪光轴对大尺寸光学元件表面垂直度的调整要求。本发明具有气动锁紧功能,可在调整范围内的任意位置完成自动锁紧。
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