一种电镀金刚线切割硅片的方法

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专利状态

一种电镀金刚线切割硅片的方法

有效

专利申请进度

申请

2017-05-26

申请公布

2017-09-01

授权

2018-09-11

预估到期

2037-05-26

专利基础信息

申请号	CN201710386263.4	申请日	2017-05-26
申请公布号	CN107116712A	申请公布日	2017-09-01
授权公布号	CN107116712B	授权公告日	2018-09-11
分类号	B28D5/04;B24B27/06
分类	加工水泥、黏土或石料;
申请人名称	杨凌美畅新材料股份有限公司
申请人地址	陕西省杨凌示范区渭惠路东段富海工业园

专利法律状态

2018-09-11

授权

状态信息

授权
2018-07-27

著录事项变更

状态信息

著录事项变更；IPC(主分类):B28D5/04；变更事项:申请人；变更前:杨凌美畅新材料有限公司；变更后:杨凌美畅新材料股份有限公司；变更事项:地址；变更前:712100 陕西省咸阳市杨凌示范区渭惠路东段36号富海工业园；变更后:712100 陕西省杨凌示范区渭惠路东段富海工业园
2017-09-26

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效；IPC(主分类):B28D5/04；申请日:20170526
2017-09-01

公布

状态信息

公布

摘要

本发明提供了一种电镀金刚线切割硅片的方法，包括如下步骤：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制冷却液，（4）切割，（5）下料，（6）脱胶、清洗，（7）检测、包装；所述步骤（4）切割：所述切割由切割机架带动硅棒向电镀金刚线网移动，同时主辊带动电镀金刚线网作往复运动实现切割，所述电镀金刚线上金刚石颗粒密度200‑350颗/mm，切割过程中，电镀金刚线的切割张力为6‑16N，电镀金刚线的线速度为1200‑1800m/min，工件切割速度为0.8‑3.5 mm/min，切割液温度为18‑23℃，切割过程中，电镀金刚线采用逐渐递进法或先反向供给后正向供给的方式。采用本发明切割方法能够在2h以内完成对8.4inch、650‑700mm晶体硅棒的顺利切割。

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