一种阵列式大面积冷等离子体发生器

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专利状态

一种阵列式大面积冷等离子体发生器

有效

专利申请进度

申请

2017-09-28

授权

2018-05-04

预估到期

2027-09-28

专利基础信息

申请号	CN201721258369.8	申请日	2017-09-28
授权公布号	CN207321621U	授权公告日	2018-05-04
分类号	H05H1/26
分类	其他类目不包含的电技术;
申请人名称	博奥生物集团有限公司
申请人地址	北京市昌平区生命科学园路18号

专利法律状态

2018-05-04

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种阵列式大面积冷等离子体发生器，其包括：内电极同轴结构，所述内电极同轴结构包括一内电极、完全包裹所述内电极下端头及外部的绝缘毛细管以及同轴套设于所述内电极外且与其下端齐平的绝缘管；包裹于所述绝缘管外、高度小于所述绝缘管高度的外电极；分别套设于所述绝缘管上端开口和下端开口的用于固定所述绝缘管轴向位置的上阀盖和下阀盖；位于所述上阀盖上部且套设于所述内电极和绝缘毛细管外的导气管；套设于上述各元件外、起盛装保护作用的管套；以及设置在所述管套上端、允许所述内电极和绝缘毛细管伸出的上盖。本实用新型可以广泛应用于冷等离子发生器的制造领域。

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