控制系统及薄片介质处理设备

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专利状态

控制系统及薄片介质处理设备

有效

专利申请进度

申请

2021-04-28

授权

2022-03-08

预估到期

2031-04-28

专利基础信息

申请号	CN202120908830.X	申请日	2021-04-28
授权公布号	CN215986934U	授权公告日	2022-03-08
分类号	G05B19/042;G07D11/12
分类	控制；调节;
申请人名称	深圳怡化电脑股份有限公司
申请人地址	广东省深圳市南山区粤海街道滨海社区白石路3939号怡化金融科技大厦26楼

专利法律状态

2022-03-08

授权

状态信息

授权

摘要

本实用新型涉及一种控制系统及薄片介质处理设备。该控制系统包括：切换装置，包括至少两个第一接口和切换模块，所述第一接口的第一端用于分别与多个所述存放箱一一对应连接，所述切换模块的一端分别与所述第一接口的第二端连接；控制装置，所述控制装置与所述切换模块的另一端连接，所述控制装置用于控制所述切换模块分时导通所述切换模块与任意一个所述存放箱之间的连接通路，以导通所述控制装置和任意一个所述存放箱之间的连接通路。该控制系统可以提高资源利用率。该薄片介质处理设备包括该控制系统。

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