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专利状态
一种真空镀膜设备
有效
专利申请进度
申请
2022-09-15
授权
2023-04-11
预估到期
2032-09-15
专利基础信息
申请号
CN202222447664.5
申请日
2022-09-15
授权公布号
CN218842305U
授权公告日
2023-04-11
分类号
C23C14/22;C23C14/56
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
福耀玻璃工业集团股份有限公司
申请人地址
福建省福州市福清市福耀工业区II区
专利法律状态
2023-04-11
授权
状态信息
授权
摘要
本申请提供了一种真空镀膜设备。所述真空镀膜设备包括设备主体,所述设备主体具有真空镀膜室,所述设备主体具有围合成所述真空镀膜室的侧壁及底壁;挡板,所述挡板包括间隔设置的底板及侧板,所述底板设置于所述底壁上,所述侧板设置于所述侧壁上;以及柔性层,所述柔性层设置于所述底板或所述侧板中的至少一个面向所述真空镀膜室的表面。本申请实施例的真空镀膜设备,可以更好地防止沉积于所述柔性层的镀膜材料发生崩落,其挡板具有更长的使用寿命,用于镀膜时,具有更好的镀膜质量。
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