一种基于高分子材料可动悬空结构的制作方法

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专利状态

一种基于高分子材料可动悬空结构的制作方法

有效

专利申请进度

申请

2014-11-17

申请公布

2015-02-25

授权

2016-11-23

预估到期

2034-11-17

专利基础信息

申请号	CN201410652643.4	申请日	2014-11-17
申请公布号	CN104370273A	申请公布日	2015-02-25
授权公布号	CN104370273B	授权公告日	2016-11-23
分类号	B81C3/00
分类	微观结构技术〔7〕;
申请人名称	广东万事泰集团有限公司
申请人地址	广东省云浮市新兴县新城镇大南路南段48-50号

专利法律状态

2016-11-23

授权

状态信息

授权
2015-03-25

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):B81C 3/00申请日:20141117
2015-02-25

公布

状态信息

公开

摘要

本发明公开了一种基于高分子材料可动悬空结构的制作方法，选用高分子材料作为材料板，采用纳米压印法或者光刻和腐蚀法分别制作底座高分子材料板及悬空结构层高分子材料板，经紫外光处理后，再通过热压键合方法结合得到结合后的材料板；底座高分子材料板底板层上层两端设有的预留结合点和悬空结构层两端设有的预留结合点互相结合成预留的入口；往预留的入口注入作为支撑层的补强剂，干燥后，对结合后的材料板的结构层进行精密研磨直至悬空结构层可见；进行清洗后再分解补强剂，得到目标悬空结构。本发明采用高分子材料，成本更低廉，且流程更简便，精度高。此外由于材料本身的特性带来弹性、透明特性、生物相容性、环境友好型等优点。

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