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专利状态
一种工装及真空镀膜设备
有效
专利申请进度
申请
2022-07-07
授权
2022-11-01
预估到期
2032-07-07
专利基础信息
申请号
CN202221741685.1
申请日
2022-07-07
授权公布号
CN217709669U
授权公告日
2022-11-01
分类号
C23C16/458;C23C14/50
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
厦门金鹭特种合金有限公司
申请人地址
福建省厦门市湖里区兴隆路69号
专利法律状态
2022-11-01
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型涉及一种工装及真空镀膜设备,所述工装包括基座、支撑件以及多个串挂件。所述基座呈围合状设置,而具有中空部。所述支撑件安装于所述基座,并横跨所述中空部。所述多个串挂件分布于所述支撑件的两侧,位于所述支撑件的一侧的所有所述串挂件在所述支撑件的两端之间间隔分布、并横跨于所述基座和所述支撑件之间。其中,每一所述串挂件可拆卸设置,而用于穿过工件的通孔以串挂所述工件。由于只有串挂件与工件的通孔的孔壁接触,所述工装不会接触到工件的工作表面,而避免了传统摆盘方式中工装会接触到工件的工作表面的情况,保证了工件上形成的CVD涂层的均匀性,提升了涂层工件的使用性能。
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