具有预紧结构的三轴向解耦装置及振动台

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专利状态

具有预紧结构的三轴向解耦装置及振动台

有效

专利申请进度

申请

2016-11-24

申请公布

2017-03-29

授权

2019-09-20

预估到期

2036-11-24

专利基础信息

申请号	CN201611050791.4	申请日	2016-11-24
申请公布号	CN106546401A	申请公布日	2017-03-29
授权公布号	CN106546401B	授权公告日	2019-09-20
分类号	G01M7/06
分类	测量；测试;
申请人名称	苏州东菱振动试验仪器有限公司
申请人地址	江苏省苏州市高新区科技城龙山路2号

专利法律状态

2019-09-20

授权

状态信息

授权
2017-04-26

实质审查的生效

状态信息

实质审查的生效IPC(主分类):G01M 7/06申请日:20161124
2017-03-29

公布

状态信息

公开

摘要

本发明公开了一种具有预紧结构的三轴向解耦装置，包括滑轨、X导向轴、Y导向轴以及Z导向轴，每根导向轴通过第一静压机构形成的静压油膜层浮动设置，每个第一静压机构还设置有预紧螺钉，预紧螺钉的一端与第一静压机构相对固定，预紧螺钉的另一端与另一同侧静压机构或另一异侧静压机构相对固定。本发明在连接方式上采用预紧螺钉的结构设计，在工作时，给其通入高压油，使两处油膜层处产生高压油膜，然后预紧螺钉的预紧力可以抵消高压油膜对外产生的张力，使其保证油膜层间隙，以及油膜层自身的刚度，提高三轴向解耦装置的工作稳定性及耐久性。本发明还公开了一种振动台。

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