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专利状态
调节式布气系统及包含其的磁控溅射镀膜装置
失效
专利申请进度
申请
2012-12-10
授权
2013-05-15
预估到期
2022-12-10
专利基础信息
申请号
CN201220680331.0
申请日
2012-12-10
授权公布号
CN202936476U
授权公告日
2013-05-15
分类号
C23C14/35
分类
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
申请人名称
广东志成冠军集团有限公司
申请人地址
广东省东莞市塘厦镇田心工业区广东志成冠军集团有限公司
专利法律状态
2013-05-15
授权
状态信息
授权
摘要
本实用新型公开一种调节式布气系统及包含其的磁控溅射镀膜装置,包括至少两根平行设置的布气管,每根布气管上均设置流量计,相邻两根布气管上错列设置吹气部,吹气部是由多个规格相同的均匀排列的气孔构成,每个气孔沿布气管的径向开设,多个气孔在布气管沿其轴向依次布置。通过将布气系统设置为至少两根布气管,并在相邻两根布气管上错列设置吹气部,可以使布气系统吹出的气体能均匀的到达靶面,保证膜层均匀;通过在布气管上设置流量计,使气体的流量可实时的调节,即根据靶面距待镀膜物体表面的距离、镀膜厚度的不同,精确的调节气体的流量,并且能使各个布气管上吹出的气体的流量相等,达到实时控制、精确镀膜的目的。
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